TY  - JOUR

T1  - Deposition of Cubic Boron Nitride in Hydrogen Plasma

JO  - Chemical Vapor Deposition

UR  - https://doi.org/10.1002/(sici)1521-3862(199807)04:04%3C125::aid-cvde125%3E3.0.co;2-z

PY  - 1998/12/16

AU  - Konyashin I

AU  - Inkson B

AU  - Bill J

AU  - Aldinger F

AU  - Khvostov V

AU  - Bregadze A

AU  - Guseva M

AU  - Babaev V

ED  - 

DO  - DOI: 10.1002/(sici)1521-3862(199807)04:04<125::aid-cvde

PB  - Wiley

VL  - 4

IS  - 4

SP  - 125

EP  - 129

Y2  - 2026/07/22

ER  -