TY  - JOUR

T1  - Atomic plane misorientation assisted crystalline quality improvement in epitaxial growth of AlN on a nanopatterned sapphire (0001) surface for deep ultraviolet photoelectric devices

JO  - ACS Applied Nano Materials

UR  - https://eprints.whiterose.ac.uk/id/eprint/200474

PY  - 2023/03/09

AU  - Deng Y

AU  - Xie N

AU  - Hu W

AU  - Ma Z

AU  - Xu F

AU  - Chen L

AU  - Qiu W

AU  - Zhao L

AU  - Tao H

AU  - Wu B

AU  - Huang Y et al

ED  - 

DO  - DOI: 10.1021/acsanm.2c05372

PB  - American Chemical Society (ACS)

VL  - 6

IS  - 6

SP  - 4262

EP  - 4270

Y2  - 2025/12/01

ER  -