TY  - CONF

T1  - Quantum lithography

JO  - SPIE Proceedings

UR  - https://doi.org/10.1117/12.497420

PY  - 2003/05/16

AU  - Braunstein SL

AU  - Boto AN

AU  - Kok P

AU  - Abrams DS

AU  - Williams CP

AU  - Dowling JP

ED  - Abbott D

ED  - Shapiro JH

ED  - Yamamoto Y

DO  - DOI: 10.1117/12.497420

PB  - SPIE

VL  - 5111

SP  - 268

EP  - 268

Y2  - 2025/11/04

ER  -