TY  - CHAP

T1  - Nanolithography

UR  - https://doi.org/10.1002/9780470661345.smc193

PY  - 2012/01/27

AU  - Leggett GJ

ED  - 

DO  - DOI: 10.1002/9780470661345.smc193

PB  - Wiley

SN  - 9780470746400

Y2  - 2025/11/28

ER  -